Описание
Электронно-лучевой испаритель ЭЛИ-1-2022 предназначен для получение тонких пленок металлов, сплавов и диэлектриков.
Применение данного испарителя позволяет обеспечить:
— высокую скорость испарения, даже самых тугоплавких материалов;
— высокую чистоту и однородность осаждаемой пленки;
— высокую скорость осаждения;
— возможность получения покрытий больших толщин;
— рациональное использование распыляемого материала.
Конструкция ЭЛИ-1-2022 предполагает возможность использования данного оборудования в напылительных комплексах с автоматизированными процессами и системами управления.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Электрические параметры:
Напряжение питания 220 В, однофазное
Потребляемая мощность 1,2 кВт
Выходные параметры:
Напряжение ускоряющее 0,2…4,0 кВ
Ток пучка 0…200 мА
Напряжение накала 2…20 В
Ток накала 0…20 А
Режим стабилизации тока накала — есть
Режим стабилизации ускоряющего напряжения — есть
Защита от перегрузки — есть
Защита от пробоя — есть
Количество каналов – 1
Дистанционное управление – нет (возможно, как опция)
Общие характеристики
— источник питания:
масса, не более, кг 50 кг
габаритные размеры (ДхШхВ), не более, мм 500x350x200
— испаритель электронно-лучевой:
масса, не боле, кг 5 кг
габаритные размеры (ДхШхВ), не более, мм 200x70x100
СОСТАВ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ИСПАРИТЕЛЯ ЭЛИ-1-2022
- Электронно-лучевой испаритель.
- Высоковольтный вакуумный ввод.
- Источник питания электронно-лучевого испарителя.
- Комплект соединительных кабелей.
- Комплект сопроводительной технической документации.
