Описание
Специальный откачной пост (СОП) предназначен для откачки, обезгаживания, наполнения газами и герметизации вакуумных приборов (изделий).
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Специальный откачной пост (СОП) обеспечивает получение предельного вакуума не хуже 6,5 ∙ 10-4 Па (5 ∙ 10-6 мм рт.ст.).
Система нагрева обеспечивает нагрев вакуумной арматуры и изделий до температуры не менее 150 °С.
Предел регулирования температуры прогрева изделия от 20 °С до 150 °С
с точностью ±5 °С.
Габаритные размеры специального откачного поста:
— стойка аналитическая 620мм х 1080мм х 1580мм,
— стойка электрическая 620мм х 620мм х 1230мм.
Масса установки не более 520 кг.
СОСТАВ СПЕЦИАЛЬНОГО ОТКАЧНОГО ПОСТА.
Специальный откачной пост выполнен в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.
В аналитической стойке расположены:
— вакуумная камера с узлами для присоединения обрабатываемых изделий (ВКОИ) – металлическая конструкция — металлический штенгель, обеспечивающий герметичное присоединение обрабатываемых изделий к системе откачки и заполнения обрабатываемых изделий,
— система откачки и заполнения камеры (СОЗК) – металлический колпак обеспечивающий герметичность подколпачного пространства в диапазоне предварительного вакуума и возможность равномерного прогрева изделий,
— система откачки и заполнения обрабатываемых изделий (СОЗИ) – система вакуумных коммуникаций, вентилей, насосов, обеспечивающих степень вакуума в системе 6,5 ∙ 10-4 Па (5 ∙ 10-6 мм рт.ст.),
— система нагрева (СН) вакуумной камеры с теплоотражающими экранами , электрические нагреватели, мощностью 0,6кВт, обеспечивающие нагрев до температуры 1500С как СОЗИ, так и изделий в СОЗК,
— высоковакуумный магниторазрядный насос НМД-0,16 с блоком питания.
В электрической стойке расположены:
— блок управления, для регулирования режимов работы, блокировки и контроля технических параметров системы управления (СУ), обеспечивающий контроль температур терморегуляторами РТК-02, управление электропитанием СОП ,
— измеритель вакуума ВМТ-001,
— измеритель вакуума ВИТ-2,
— форвакуумный насос 2НВР-5ДМ.