Растровый электронный микроскоп с микроанализатором РЭМ-2000

Описание

Растровый электронный микроскоп РЭМ-2000 объединяет функции растрового электронного микроскопа высокого разрешения и рентгеновского микроанализатора. РЭМ-2000 предназначен для исследования рельефа поверхности объектов в твердой фазе и для определения элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа по длинам волн и энергиям квантов характеристического рентгеновского излучения.

Область применения: материаловедение, микроэлектроника и полупроводниковые технологии, металловедение, металлофизика, металлургия, геология, биология, медицина и другие области науки и техники.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

• Микроскоп обеспечивает следующие режимы работы
  • Изображение во вторичных электронах.
  • Изображение в отраженных электронах.
  • Рентгеновский микроанализ с помощью спектрометра энергетической дисперсии.
• Разрешающая способность микроскопа не более:

2.2.1   в режиме вторичных электронов 5 нм;

2.2.2   в режиме отраженных электронов  60 нм.

• Диапазон регулировки увеличения от 10 крат до 300 000 крат.

Отклонение нижнего предела диапазона увеличений в сторону уменьшения, а верхнего предела в сторону увеличения не ограничивается.

• Диапазон регулировки ускоряющего напряжения от 0,2 кВ до 40 кВ.

Регулировка ускоряющего напряжения осуществляется:

а)        дискретно через 0,2 кВ в пределах от 0,2 кВ до 5 кВ;

• дискретно через 1 кВ в пределах свыше 5 кВ до 40 кВ.
  • Относительная нестабильность ускоряющего напряжения за 10 мин не более 1·10^-5.
  • Относительная нестабильность тока объективной линзы за 10 мин не более 1·10^-5.
  • Диапазон элементов, анализируемых спектрометром рентгеновским энергодисперсионным, от ₅B до ₉₂
  • Разрешающая способность спектрометра рентгеновского энергодисперсионного, на линии Mn Kα не более 139 эВ.
  • Предельное остаточное давление в колонне микроскопа не более 6,7·10^-4 Па (5·10^{-6 мм рт. ст.).}
  • Время откачки колонны микроскопа от атмосферного давления до давления 6,7·10^-3 Па не более 30 мин.
  • Время шлюзования объекта не более 5 мин.
  • Время поддержания вакуума 6,7·10^-3 Па (5·10^{-5 мм рт. ст.) в колонне микроскопа при выключенных форвакуумных насосах не менее 20 мин.}
  • Максимальный диаметр шлюзуемого объекта 70 мм.
  • Универсальный механизм перемещения объектов обеспечивает:
  • а) перемещение образца по координатам X на ± 50 мм, Y на ± 75 мм;б) перемещение по координате Z на 60 мм;

    в) вращение образца на 360°;

    г) наклон платформы от -5° до 60°.

    • Видеоконтрольное устройство (ВКУ) обеспечивает:

    а) развертку электронного зонда по большому и по малому полям с возможностью установки зонда в отмеченную маркером на изображении точку;

    б) вращение и электронное перемещение растра;

    в) деление экрана;

    г) отображение символьной информации об ускоряющем напряжении, увеличении, рабочем расстоянии, масштабной метке и ее длине;

    д) электронную индикацию линейных размеров объектов.

    • Изменение увеличения изображения при изменении ускоряющего напряжения в диапазоне от 5 кВ до 30 кВ не более 10 %.
    • Изменение увеличения изображения при изменении рабочего расстояния в диапазоне от 5 мм до 35 мм не более 10 %.

    Максимальная потребляемая мощность не более 3,5 кВ·А.

    Электропитание микроскопа осуществляется от однофазной сети переменного тока с номинальным напряжением (220 ± 22) В.

  • Ваше имя (обязательно)
    

    Ваш e-mail (обязательно)
    

    Сообщение