Описание
Растровый электронный микроскоп РЭММА-2000 объединяет функции растрового электронного микроскопа высокого разрешения и рентгеновского микроанализатора. РЭММА-2000 предназначен для исследования рельефа поверхности объектов в твердой фазе и для определения элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа по длинам волн и энергиям квантов характеристического рентгеновского излучения.
Область применения: материаловедение, микроэлектроника и полупроводниковые технологии, металловедение, металлофизика, металлургия, геология, биология, медицина и другие области науки и техники.
1 Электронно-оптическая система
Электронная пушка: вольфрамовый катод V-образного типа, возможность ручной и электромагнитной юстировки.
Трехлинзовая оптическая система: двухступенчатый конденсор, 45-градусная коническая объективная мини-линза, уменьшающая аберрации.
Устройство для установки и смены апертурной диафрагмы, два комплекта апертурных диафрагм для микроанализа (0.2 и 0.14, 0.12 и 0.08 мм).
Раздельная откачка колонны и камеры объектов на высокий вакуум.
Автоматическая установка напряжения смещения на цилиндре Венельта при изменения ускоряющего напряжения.
Разрешающая способность в режиме изображения во вторичных электронах 5 нм.
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения от 0.2 до 5 кВ с шагом 50 В, от 5 до 40 кВ с шагом 1 кВ.
Диапазон регулировки увеличения от 5 до 300 000 крат.
2 Камера и механизм перемещения объектов
Большая камера объектов 296х360х273 мм3. Порт для установки спектрометра ЭДС и два порта для установки спектрометра ВДС.
Максимальный диаметр образца 100 мм. Диаметр шлюзуемого объекта 70 мм и высота 40 мм.
Три моторизированных осей перемещения(X, Y, Z).
Перемещение по оси Х — 100 мм, Y — 150 мм, Z — 60 мм,
Вращение 360°,
Наклон от минус 5° до 90°.
Универсальный держатель объектов, комплект специальных объектодержателей для различных по форме образцов. Карусельный держатель объектов для шести образцов диаметром 10 мм каждый.
Управление перемещением объектов с помощью jojstick и клавиатуры.
3 Детекторы
Детектор вторичных электронов (Э-Т), полупроводниковый парный детектор отраженных электронов, спектрометры ВДС и ЭДС.
Режимы получения изображения: ВЭ, ОЭ, ТОРО, СОМРО, X-RAY.
4 Система получения, накопления и обработки изображения
Программное управление режимами работы прибора, получением и накоплением изображения. Специализированные кнопки и ручки для установки увеличения, контраста, яркости, фокуса, стигматора.
Динамическое стигмирование, компенсация изменения увеличения при изменении ускоряющего напряжения и рабочего расстояния, компенсация поворота изображения при изменении положения образца.
Режим «малого поля» на экране монитора.
Электронный поворот растра.
Перемещение растра 30 мкм.
Осциллографический режим.
Обработка изображения: гамма-коррекция, деление экрана, электронный маркер, индикация линейных размеров объекта.
Отображение на экране параметров работы: ускоряющего напряжения, увеличения, рабочего расстояния, масштабной метки, токов линз, тока зонда и др.
5 Система рентгеновского микроанализа
Два спектрометра волновой дисперсии, спектрометр энергетической дисперсии и устройство управления и измерения.
Интегрированное управление системой микроанализа. Устройство управления и измерения обеспечивает управление двумя спектрометрами волновой дисперсии и одним спектрометром энергетической дисперсии, сбор, первичную обработку рентгеновской информации и передачу ее посредством интерфейса в устройство вычислительное.
Спектрометры волновой дисперсии
Механизм спектрометра:
— радиус круга Роуланда 200 мм,
— диапазон изменения угла Брегга от 25° до 92.5°,
— диапазон анализируемых элементов от 4Ве до 92U,
— фокусирующая оптика Johann,
— анализирующие кристаллы LiF, PET, RAP, PbSt, размером 20х30 мм2,
— многослойные зеркала для анализа легких элементов
