Описание
Приставка магнетронного распыления ПМР-3-50 применяется как дополнительное оборудование в составе вакуумных установок. Позволяет распылять металлы, полупроводники и диэлектрики.
- Стандартная магнетронная приставка к ВН-2000, ВУП-5, ВУП-5М:
— обечайка с магнетронами, диаметр мишени 52мм, устанавливается между рабочим столиком и колпаком (доработки колпака ВН-2000) не требуется;
— блок питания 0,5 А, 800 В для последовательного включения магнетронов (устанавливается в приборе ВН-2000, ВН-2000, ВУП-5, ВУП-5М на место высоковольтного блока, требуется доработка измерительной электрической схемы для индикации тока и напряжения; требуется изготовление заслонки и водяной гребенки). - Возможно не стандартное расположение магнетронов — под углом к плоскости напыления. Особая система крепления держателя объектов и подобное расположение магнетронов позволяет производить распыление нескольких материалов последовательно или одновременно, БЕЗ разгерметизации рабочего объема. В этом случае необходима доработка колпака вакуумной камеры (механизма открытия камеры).
Напыление — снизу вверх.
Питание — DC— и (или) RF— блок.
Габаритные размеры магнетронной приставки: диаметр — 290 мм, высота — 300мм.
