Описание
Приставка магнетронного распыления ПМР-3 предназначена для использования в составе универсальных вакуумных постов и напылительных установок ВУП-5, ВУП-5М, ВН-2000, ВН-2000М и др. для распыления различных материалов.
Технические характеристики приставки магнетронного распыления ПМР-3:
- обечайка с магнетронами, диаметр мишени 42мм, устанавливается между рабочим столиком и колпаком (доработки колпака ВН-2000) не требуется;
- блок питания 0,5 А, 800 В для последовательного включения магнетронов (устанавливается в приборе ВН-2000 на место высоковольтного блока, требуется доработка измерительной электрической схемы для индикации тока и напряжения; требуется изготовление заслонки и водяной гребенки).
Напыление — снизу вверх.
Габаритные размеры магнетронной приставки: диаметр =290 мм, высота=300мм.
Габаритные размеры блока питания длина=365 мм, ширина=130 мм, высота=220 мм.
