Описание
Массовый котроллер расхода газов Horiba 5850 E (регулятор расхода газов) предназначен для контроля и регулировки скорости подачи рабочих или реактивных газов в вакуумный объем при различных технологических процессах. Программное обеспечение позволяет контролировать и управлять всеми параметрами процесса напуска в автоматическом и ручном режимах, в т.ч. и дистанционно.
Технические характеристики.
Диапазон: 0 – 5 н.л./мин.
Точность: ±1% от полной шкалы, включая линейность в условиях калибровки.
Время реакции: менее 3 секунд.
Питание: +15 В постоянного тока ±5%; -15 В постоянного тока ±5%.
Потребляемая мощность: 3,5 Вт.
Рабочая температура: 5°C до 65°C.
Рабочее давление: максимум 1500 psi (10,342 МПа)
Перепад давления: от 5 до 50 psi (минимальный перепад давления зависит от газа и диапазона).
Выходной сигнал: 0 – 5 В постоянного тока на 2000 Ом или больше. Максимальная пульсация 3 мВ.
