Описание
Принцип роботи кварцового вимірювача товщини КВТ-1 ґрунтується на використанні ефекту зміни резонансної частоти кварцового кристала залежно від зміни його маси. Маса кристала збільшується за рахунок напилення матеріалу на його поверхню. Згідно з теорією Зауербрея, залежність зміни частоти від маси, напиленої на поверхню кристала, виражається рівнянням залежності зміни частоти коливань кристала від зміни його маси на одиницю площі напиленої поверхні електрода кристала.
Кварцовий вимірювач товщини КВТ-1 може працювати як автономно, так і у складі автоматизованої системи керування (АСК). В автономному режимі використовується алгоритм напилення, записаний користувачем. Результати вимірювань виводяться на індикатор, прилад реагує на клавіатуру, зовнішній сигнал запуску та подає сигнал зупинки.
У складі АСК кварцовий вимірювач товщини КВТ-1 передає дані керуючому процесору (на комп’ютер) через послідовний інтерфейс UART (TTL 5 В) або RS-485.
1.2 Технічні характеристики
1.2.1 Діапазон вимірюваних частот кварцового вимірювача товщини КВТ-1: 4–10 МГц.
1.2.2 Період вимірювання частоти – 1 с.
1.2.3 Роздільна здатність за частотою – 1 Гц.
1.2.4 Роздільна здатність за товщиною для Ta₂O₅ – 0,1 нм.
1.2.5 Діапазон густини матеріалів напилення – 0,1…99,9 г/см³.
Густини деяких матеріалів, що використовуються для напилення, наведені в Додатку А.
1.2.6 Діапазон товщини плівки напилення – 0,1…999,9 нм.
1.2.7 Діапазон коефіцієнта k – 0,01…1.
