Описание
Кварцевый измеритель толщины напыляемого слоя КИТ
Кварцевый контроль позволяет иметь точную информацию о толщине пленки в процессе нанесения покрытий в вакууме.
Для измерения используется эффект изменения резонансной частоты кварцевого кристалла при изменении его массы. Масса кристалла увеличивается за счет напыления материала на его поверхность.
Прибор выполнен в настольном варианте. По Вашему требованию изготовим прибор в корпусе для монтажа в стойку.
Кристаллы кварцевые
Назначение: Кристаллы кварцевые позволяют производить измерения для большого числа применений.
Кварцевый кристалл – диаметр 14мм.
Кристаллы могут применяться в широком диапазоне: от напыления пленок в вакууме до покрытия металлов в жидкостях, а так же в исследовательских проектах, где в качестве измерительного элемента применяются кристаллы. На кристалл можно напылить с частоты 6МГц до 5.5МГц (снижение частоты 500кГц), 500KÅ для алюминия.
Все изделия 100% тестированы.
Держатель кристалла
Водоохлаждаемый держатель кристалла применяется в составе систем кварцевого контроля толщины покрытий. Датчик спроектирован так, что бы сделать замену кристаллов максимально простой операцией. В «BFAG-140″ устанавливаются стандартные кварцевые кристаллы 0,55». Наличие в держателе системы водного охлаждения позволяет применять кварцевый контроль толщины при температуре до 300°С.
Основные характеристики: Диаметр водоохлаждаемых трубок — 5 мм. Длина трубок — до 500 мм. Материал корпуса – нержавейка. Геометрические размеры держателя кристалла, мм 30х30х20.Термостойкий коаксиальный кабель. Кабель имеет центральную жилу изолированную фторопластом от металлической оплетки (кабель обматывается вокруг трубки водоохлаждения и выдержит 200С). Датчик крепится на трубках водоохлаждения (одна цельная трубка согнутая П-образной формы).
Установка: Держатель кристалла устанавливается в вакуумную камеру через гермоввод, имеющий два ввода для трубок диаметром 5 мм и один электрический ввод. Водоохлаждаемые трубки можно изгибать, что позволяет ориентировать положение кристалла в камере.
С внешней стороны камеры к электрическому выходу подключается генератор для формирования и усиления сигналов поступающих от кварцевого кристалла. Сигнал от генератора подается на измерительный прибор, который и рассчитывает толщину напыленной пленки по изменению частоты колебаний кварцевого кристалла.
Держатель может дополнительно оснащаться пневматической заслонкой, для предотвращения запыления кристалла при различных режимах напыления.
