Описание
Принцип работы кварцевого измерителя толщины КВТ-1 основан на применении эффекта изменения резонансной частоты кварцевого кристалла относительно изменения его массы. Масса кристалла увеличивается за счет напыления материала на его поверхность. Согласно теории Зауэрбрея, зависимость изменения частоты от напыленной массы на поверхность кристалла выражается уравнением зависимости изменения частоты колебаний кристалла от изменения его массы на единицу площади напыленной поверхности электрода кристалла.
Кварцевый измеритель толщины КВТ-1 может работать как автономно, так и в составе автоматизированной системы управления (АСУ). В автономном режиме используется алгоритм напыления, записанный пользователем. Результаты измерений выводятся на индикатор, прибор реагирует на клавиатуру, внешний сигнал запуска и выдает остановочный сигнал.
В составе АСУ кварцевый измеритель толщины КВТ-1 посылает данные управляющему процессору (на компьютер) по последовательному интерфейсу UART (ТТЛ 5 В) или RS485.
1.2 Технические характеристики
1.2.1 Диапазон измеряемых частот кварцевого измерителя толщин КВТ-1 4-10 МГц.
1.2.2 Период измерения частоты – 1 сек.
1.2.3 Разрешение по частоте – 1 Гц.
1.2.4 Разрешение по толщине для Та2О5 – 0,1 нм.
1.2.5 Диапазон плотности материалов напыления – 0,1…99,9 г/см3.
Плотности некоторых материалов, используемых для напыления, приведены в Приложении А.
1.2.6 Диапазон толщины пленки напыления – 0,1…999,9 нм.
1.2.7 Диапазон коэффициента k – 0,01…1.
