Индикатор напряжения для СНА-1 (одноканального натекателя) и параметров DC источника магнетрона

Устройство цифровой индикации (Индикатор напряжения и тока) предназначено отображения параметров напряжения  одноканального пьезокерамического натекателя СНА-1, эксплуатируемого в составе вакуумного универсального постом ВУП-5М,  и параметров (ток и напряжение) штатного источника питания постоянного тока для магнетронной приставкой серии ПМР.

Категории: , , Метка: , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,

Описание

Устройство цифровой индикации (Индикатор напряжения и тока) предназначено отображения параметров напряжения  одноканального пьезокерамического натекателя СНА-1, эксплуатируемого в составе вакуумного универсального постом ВУП-5М,  и параметров (ток и напряжение) штатного источника питания постоянного тока для магнетронной приставкой серии ПМР.

Устройство цифровой индикации подключается к электрической схеме поста и отображает на цифровых индикаторах значения напряжения разряда, тока разряда, напряжения пьезонатекателя системы напуска рабочего газа.

Тем самым значительно повышаются эксплуатационные удобства ВУП-5М, точность и повторяемость задания основных параметров процесса напыления.

Диапазон отображения напряжения на магнетроне 0 — 999 В, тока магнетрона 0 — 0,50 А, напряжения на пьезонатекателе 0 – 2,00 кВ.

Питается устройство от сети 220 В, потребляемая мощность – 8 Вт.