Описание
Масс-спектрометр типа МОНОПОЛЬ предназначен для качественного анализа газовой среды в высоко- и сверхвысоковакуумных системах. Максимальное рабочее давление в области источника ионов масс-спектрометра, не более 10-3 Ра. Область применения масс-спектрометра – научные исследования, а также технологический контроль.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ масс-спектрометра МОНОПОЛЬ
Разрешающая способность на уровне 10% 1М
Диапазон массовых чисел масс-спектрометра:
основной 1…200
обзорный 1…500
Порог чувствительности масс-спектрометра, Ра 7,5х10-12
Потребляемая мощность (с нагревом), VA 230 (800)
Габариты и вес масс-спектрометра, мм, (кг):
блок управления 530х480х225 (25)
генератор ВЧ 200х135х225 (1,5)
УПТ1, УПТ2 97х67х30 (0.2)
блок стабилизации нагрева 355х55х320 (5)
анализатор 520х152х362 (8)
Откачка анализатора масс-спектрометра на высокий вакуум (система откачки в комплект масс-спектрометра не входит) осуществляется через боковой фланец. Подача анализируемого газа в анализатор масс-спектрометра осуществляется с помощью механического натекателя.
Корпус анализатора масс-спектрометра снабжен нагревателем и датчиком температуры, которые совместно с блоком стабилизации нагрева обеспечивают рабочий нагрев анализатора до 100 градусов.
Источник ионов анализатора масс-спектрометра открытого типа со сменным двухкатодным блоком.
Детекторная система анализатора масс-спектрометра состоит из коллектора Фарадея и умножителя ВЭУ-6, связанных посредством дефлектора. Такое построение детектора значительно расширяет динамический диапазон регистрации масс-анализатора. Переключение детекторов осуществляется с блока управления.
В масс-анализаторе имеется возможность сканирования всего диапазона спектра, любого его участка, а также работы с любыми выбранными шестью пиками.
Блок управления масс-спектрометра имеет выход для подключения компьютера.
В масс-спектрометре предусмотрены аварийная защита анализатора и генератора ВЧ от развакуумирования, регулировка постоянной времени УПТ, отключение ионного пучка, диагностика.
Предлагаемые масс-спектрометр МОНОПОЛЬ обеспечивает:
— измерение ионных токов коллектором и вторично-электронным умножителем — как в режиме аналогового усиления, так и в режиме счета ионов;
— управление разверткой с постоянной шириной пиков и с постоянной чувствительностью:
— продление диапазона за счет снижения разрешающей способности;
— увеличение диапазона и увеличение разрешающей способности;
— стабилизацию температуры анализатора и источника ионов;
— режим измерения полного тока.
Модернизированная аналитическая система масс-спектрометра обеспечивает:
— возможность работы с молекулярными пучками;
— возможность работы со сторонними ионами;
— возможность напуска сторонних газовых смесей;
— адаптацию анализатора под задачу заказчика.
Базовое программное обеспечение выполнено в программной среде Windows и может быть модифицировано в соответствии с пожеланиями заказчика.
