Описание
Вакуумный универсальный пост ВН-3000 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и электронно-лучевого испарителя.
1.2 Область применения – приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.
1.3 Установка может эксплуатироваться при температуре окружающего воздуха от 10 оС до 35 оС, относительной влажности не более 80 % и атмосферном давлении от 84 кПа до 106,7 кПа.
1.4 Электрическое питание установки должно осуществляется от трехфазной сети 380/220 вольт, частота 50 Гц.
Качество электрической энергии по ГОСТ 13109.
1.5 Потребляемая мощность установки не более 3,3 кВ×А.
2 ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
2.1 Масса установки не более 420 кг.
2.2 Габаритные размеры установки:
- стойка аналитическая 900мм х 610мм х 1620мм,
- стойка электрическая 600мм х 600мм х 2160мм.
2.3 Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме не более 2×10-3 Па.
2.4 Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки не менее 300 оС.
Время нагрева до температуры 300 оС не более 30 мин.
2.5 Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки в диапазоне от 5 об/мин до 15 об/мин.
2.6 Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки) регулируется от 0 кВ до (4,0±0,2) кВ.
2.14 Максимальный ток пучка электронно-лучевого испарителя – 200 мA.
2.15 Максимальный ток блока питания накала катода электронно-лучевого испарителя – 20 А.
2.9 Мощность блока питания магнетрона RF регулируется от 0 Вт до (500±50) Вт.
2.10 Максимальный ионный ток устройства ионного травления/очистки – 100 мA.
2.12 Установка обеспечивают откачку рабочего объема от атмосферного давления до давления 6,0×10-3 Па за время не более 45 мин.
2.13 Установка имеют систему индикации давления в рабочем объеме в диапазоне от 1,0×105 Па до 1,0×10-4 Па.
2.14 Средняя наработка на отказ установки не менее 1 000 ч.
Среднее время восстановления работоспособного состояния установки не более 6 ч.
Полный средний срок службы установки не менее 10 лет.
Полный средний ресурс должен быть не менее 16 000 ч.
2.15 Основные параметры, характеристики установоки и результаты испытаний приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Наименование параметров | По норма-тивной докумен-тации |
| 1 | 2 |
| 1.Предельное остаточное давление, Па, не более:
2. Температура в районе подложки, оС не менее
3. Напряжение на выходе блока питания высоковольтного, кВ
4.Максимальный ток пучка электронно-лучевого испарителя, мA
5. Мощность блока питания магнетрона RF, Вт
6. Максимальный ионный ток устройства ионного травления/очистка, мA
|
2×10—3 300
от 0 до (4,0±0,2)
200
от 0 до (500±50)
100
|
