Вакуумный универсальный пост ВН-2000

Вакуумный  универсальный  пост  ВН-2000 предназначен для  получения  пленок  из  различных материалов  с  высокой производительностью  методом термического испарения, магнетронного  распыления,  ионно-лучевого травления, а также  для  подготовки  объектов,  исследуемых  с  помощью электронного  микроскопа  или  других  аналитических  приборов.

    Категория: Метки: , , , , , , ,

    Описание

    Вакуумный  универсальный  пост  ВН-2000 предназначен для  получения  пленок  из  различных материалов  с  высокой производительностью  методом термического испарения, магнетронного  распыления,  ионно-лучевого травления, а также  для  подготовки  объектов,  исследуемых  с  помощью электронного  микроскопа  или  других  аналитических  приборов.

    ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ

    1 Технические  данные

    1.1 Питание  прибора  осуществляется  от трехфазной  сети переменного  тока  напряжением  220/380 V,  частотой  50 Нz .

    1.2 Масса  прибора, кg , не  более                                                          309

    1.3 Габаритные  размеры,  mm,  не  более :

    длина                                                                                                     540

    ширина                                                                                                  910

    высота                                                                                                 1550

    1.4 Потребляемая  мощность  без  приставок, кVA,  не более  1,9.  Максимальная  потребляемая  мощность, к\/А,  не более                                  5.

    2 Основные  параметры  и  характеристики

    2.1 Остаточное  давление  в  высоковакуумном  объеме   пpи охлаждении  ловушки  жидким  азотом 1,3×10-4  Pa.

    2.2 Остаточное  давление  в  высоковакуумном  объеме  при охлаждении  ловушки  водой  1,3×10-3 Ра.

    2.3 Ток  накала  испарителей  200 А.

    2.4 Напряжение  на  выходе  высоковольтного  выпрямителя 7 к V.

    2.5 Максимальный  ток  тлеющего  разряда  47  m A.

    2.6 Максимальное напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя источника питания магнетрона, кV,  не менее  0,9.

    2.7 Максимальный ток магнетрона, mА, не менее 300.

    2.8 С помощью пультов управления обеспечивается вы­ход в рабочий режим вакуумной системы из холодного состояния и коммутация вакуумной системы во время работы.

    СОСТАВ ИЗДЕЛИЯ

    1 В полный комплект прибора входит:

    1.1. Пост вакуумный универсальный ВН-2000 (ВН-2000М)* с устройствами и приставками:

    1) система форвакуумной откачки РО;

    2) система высоковакуумной откачки РО;

    3) устройство для приварки катодов

    4) устройство для термического испарения с резистивных испарителей;

    5) система  напуска  воздуха  в  РО;

    6) автоматическая  система  напуска  газа;

    7) источники питания устройств;

    8) блок управления;

    9) выносной пульт управления

    10) комплект запасных изделий и принадлежностей (ЗИП)

    * Не входит в комплект и поставляется дополнительно:

    — приставка магнетронного распыления ПМР-3;

    — приставка магнетронного распыления ПМР-50 ;

    — источник питания магнетронов переменного тока МВ-0,5;

    — источник питания магнетронов постоянного тока БПМ-03;

    — приставка ионно-лучевого травления;

    — кварцевый измеритель толщины напыляемого слоя.

      Похожие товары