Описание
Вакуумная система ВС-1Л предназначена для откачки, обезгаживания и термостатирования вакуумной камеры, откачки и напуска газовой пробы в масс-спектрометр, контроль отходящих газов и влаги микросхем в вакуумной среде методом масс-спектрометрического анализа.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Вакуумная система ВС-1Л состоит и обеспечивает:
1. Рабочий объем в составе:
— вакуумная камера (объем не более 1 л, материал — нержавеющая сталь; максимальный вакуум не более 4×106 Ра);
— система прогрева и термостатирования с датчиками температуры (температура прогрева камеры не менее + 125°С, термостатируемая температура +25°С ± 3°С);
— датчики контроля вакуума (форвакуумные — ПМТ-6-ЗМ; высоковакуумные — ПММ-32-1 и ПМИ-2);
— иллюминатор с внешней подсветкой;
— механизм сверления микросхемы;
2. Система высоковакуумной откачки на базе турбомолекулярных насосов (ТМН), обеспечивающая необходимую степень вакуума в рабочем объеме.
3. Комплект электромагнитных клапанов.
4. Форвакуумные насосы, обеспечивающие предварительный вакуум для запуска ТМН.
5. Пъезоклапан двухканальный системы напуска газов (канал 1 — отбор пробы в анализатор, клапан 2 —напуск азота в рабочий объем), диапазон напуска 1×10″6 Ра до 1 Ра.
6. Блок управления системой напуска газов (питание 220В, выходное напряжение не более 1,5 кВ).
7. Вакуумный затвор (тип привода — ручной).
8. Блок питания прогрева и термостатирования (питание 220В с регулировкой выходного тока).
9. Блок управления системой вакуумной откачки с блоками питания ТМН (блоки питания ТМН, блоки питания электромагнитных клапанов с напряжением форсировки, не более, 40В и напряжением удержания не более 6В).
10. Блок вакуумметров высокого и низкого вакуума (диапазон измерения вакуума от 1×107 Ра до 1х105 Ра).
11. Комплект вакуумных и электрических коммуникаций.
СОСТАВ ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ ВС-1Л
Вакуумная система ВС-1Л выполнена в виде единой стойки. В верхней части стойки расположены — аналитические узлы и конструкции, в нижней — блоки управления и питания.
Аналитические узлы и конструкции включают:
— вакуумную камеру с фланцами для : механизма сверления микросхемы, иллюминатора с внешней подсветкой, клапана напуска воздуха,
— два механических клапана: клапан V5 — отбор пробы в анализатор, клапан V1 -напуск азота в вакуумную камеру, диапазон напуска 1×10-6 Ра до 1 Ра,
— система откачки вакуумной камеры на базе: турбомолекулярного насоса (ТМН), форвакуумного насоса( обеспечивающего предварительный вакуум для запуска ТМН), арматуры вакуумных коммуникаций, клапанов,
— система нагрева вакуумной камеры с электрическим нагревателем, мощностью 0,6кВт, обеспечивающие нагрев до температуры 1250С ,
— система откачки масс-спектрометра на базе: высоковакуумного магниторазрядный насос НМД-0,16 и сорбционных форвакуумных насосов для НМД.
Блоки управления и питания включают:
— блок управления, для регулирования режимов работы и контроля технических параметров системы управления , обеспечивающий контроль температур терморегулятором РТК-02, управление электропитанием вакуумной системы ВС-1Л,
— блок вакуумметров высокого и низкого вакуума (диапазон измерения вакуума от 1×10¬7 Ра до 1х105 Ра).
— блок управления масс-спектрометром МХ,
— блок питания ТМН,
— блок питания НМД,
— форвакуумный насос 2НВР-5ДМ.
